Shenyang Starlight Advanced Ceramics livre avec succès des nacelles à trois montants en carbure de silicium de 8 pouces pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., un fabricant leader de produits en carbure de silicium avec plus de 30 ans d'expérience dans l'industrie, a récemment franchi une étape importante en développant et en livrant avec succès des bateaux à trois montants en carbure de silicium de 8 pouces spécialisés pour les applications de traitement thermique des plaquettes de semi-conducteurs.

Percée dans la technologie de traitement des plaquettes

Le nouveau 8 pouces développécarbure de siliciumLes bateaux à trois montants représentent une avancée majeure dans la technologie de manutention des plaquettes, spécialement conçus pour :

• Traitement à haute température de plaquettes semi-conductrices de 200 mm

• Répartition thermique uniforme pendant les étapes critiques de fabrication

• Réduction des risques de contamination dans les environnements de salle blanche

Supériorité technique

Ces bateaux de précision sont dotés de :

• Pureté ultra élevéecarbure de siliciummatériau (pureté de 99,99 %)

• Conception optimisée à trois montants pour un contact minimal avec la plaquette

• Résistance exceptionnelle aux chocs thermiques (résiste à des changements rapides de température jusqu'à 1 400 °C)

• Inertie chimique supérieure contre les gaz de procédé corrosifs

Répondre aux demandes de l'industrie

"Notre 8 poucescarbure de siliciumLes bateaux à trois montants répondent au besoin croissant de l'industrie des semi-conducteurs en matière de supports de plaquettes fiables et performants, a déclaré le Dr Li, directeur de la technologie. Ils offrent des avantages significatifs par rapport aux supports en quartz traditionnels, notamment une durée de vie plus longue et une meilleure stabilité thermique.

Processus de développement rigoureux

Le développement du produit impliquait :

• 18 mois de R&D intensive

• Collaboration avec les principaux fabricants de semi-conducteurs

• Plus de 200 tests de cycles thermiques

• Mesures strictes de contrôle de la contamination par les particules

Assurance qualité

Chaque unité subit :

• Vérification de la précision dimensionnelle (tolérance de ± 0,02 mm)

• Essai de rugosité de surface (Ra < 0,2 μm)

• Inspection visuelle complète

• Nettoyage final et emballage en salle blanche de classe 100

Applications

Les bateaux sont actuellement utilisés pour :

• Processus de diffusion

• Traitements de recuit

• Processus d'oxydation

• Applications CVD

Développements futurs

Fort de ce succès, Shenyang Starlight développe désormais :

• Version 12 pouces pour les tailles de plaquettes de nouvelle génération

• Conceptions personnalisées pour des exigences de processus spécifiques

• Revêtements avancés pour applications spécialisées

Engagement de l'entreprise

« En tant qu'entreprise forte de trois décennies d'expertise en céramique, nous restons déterminés à repousser les limites de la technologie des matériaux semi-conducteurs », a ajouté le Dr Li. « Ce lancement de produit démontre notre capacité à développer des solutions qui répondent aux exigences les plus exigeantes de l'industrie. »