Shenyang Starlight Advanced Ceramics franchit une étape importante dans la fabrication de semi-conducteurs avec des tubes de revêtement de précision de 451 mm de diamètre extérieur pour le traitement de plaquettes de 12 pouces.

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., pionnier de la fabrication de carbure de silicium avec plus de trois décennies d'expertise, a récemment réalisé une avancée significative en fournissant des tubes de revêtement spéciaux de 451 mm de diamètre extérieur (DE) pour la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs de 12 pouces. Cette réussite souligne le leadership de l'entreprise dans le développement de composants céramiques critiques pour l'industrie mondiale des semi-conducteurs. Ces nouveaux tubes de revêtement, spécialement conçus pour les applications de traitement de plaquettes à haute température, présentent un diamètre extérieur de bride optimisé de 451 mm, conçu pour répondre aux exigences strictes des équipements de fabrication de semi-conducteurs de pointe. Utilisant du carbure de silicium ultra-pur (≥ 99,999 %) et une stabilité thermique exceptionnelle (plage de fonctionnement : de la température ambiante à 1 450 °C), ces tubes de revêtement sont fabriqués à partir de carbure de silicium ultra-pur (≥ 99,999 %).tubes de revêtement Les composants garantissent une dilatation thermique minimale (coefficient de 4,0 × 10⁻⁶/K) et une résistance supérieure aux gaz de procédé corrosifs, permettant des performances constantes dans les procédés d'oxydation, de diffusion et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). La précision de la conception des tubes de revêtement garantit des tolérances dimensionnelles de ± 0,05 mm et une rugosité de surface inférieure à Ra 0,1 μm, essentielles au maintien de l'intégrité des plaquettes et à la réduction des risques de contamination particulaire en salle blanche.

Le tubes de revêtementLe processus de développement a nécessité 18 mois de collaboration rigoureuse en R&D avec les principaux fabricants de semi-conducteurs, intégrant une analyse par éléments finis (FEA) avancée pour optimiser la dynamique de l'écoulement des gaz et l'uniformité thermique sur le diamètre intérieur de 300 mm. Plus de 500 tests de cyclage thermique ont validé letubes de revêtement« durabilité sous des fluctuations rapides de température, tandis que des techniques de frittage exclusives ont assurétubes de revêtement Intégrité structurelle garantie à des températures extrêmes. La production s'effectue en salles blanches de classe ISO 5, chaque unité étant soumise à un contrôle complet. tubes de revêtementContrôles qualité, incluant les tests d'étanchéité à l'hélium, l'analyse des gaz résiduels (RGA) et la validation métrologique à l'aide de scanners laser et de machines à mesurer tridimensionnelles (MMT). Les pionniers de la production de puces logiques et mémoires avancées ont signalé une réduction de 35 % des temps d'arrêt des fours et une amélioration de 20 % du rendement des plaquettes par rapport aux revêtements en quartz traditionnels, attribuées à l'inertie chimique inhérente du matériau et à la réduction des besoins de maintenance.

Ce tubes de revêtementCette innovation répond à la demande croissante de l'industrie des semi-conducteurs pour des tranches de plus grande taille et une plus grande régularité des procédés, notamment à l'heure où les fabricants adoptent des nœuds inférieurs à 5 nm. Le diamètre extérieur de 451 mm permet une intégration transparente avec les fours verticaux de nouvelle génération, tandis que les très faibles niveaux d'impuretés métalliques du matériau (< 0,1 ppb) préviennent la contamination par les dopants dans les procédés sensibles. Au-delà des applications actuelles, Shenyang Starlight développe activement des solutions intelligentes.tubes de revêtementprototypes avec capteurs intégrés pour la surveillance de la température en temps réel et systèmes de gestion thermique adaptatifs compatibles avec les écosystèmes de fabrication de l'Industrie 4.0.

Avec un héritage de 30 ans et plus de 2 000 partenariats clients réussis, Shenyang Starlight continue de stimuler l'innovation dans les céramiques hautes performances, combinant l'excellence de la science des matériaux avec l'ingénierie de précision pour résoudre les défis les plus complexes de l'industrie des semi-conducteurs.