Plaquette de carbure de silicium liée par réaction

1. Notre bateau à plaquettes SIC a une conductivité thermique élevée.
2. Notre bateau à plaquettes SIC présente une dureté élevée, deuxième après le diamant et le nitrure de bore cubique
3. Notre bateau à plaquettes SIC est résistant à la corrosion, les acides forts et les alcalis forts ne le corroderont pas et sa résistance à la corrosion est meilleure que celle du carbure de tungstène et de l'oxyde d'aluminium ;

  • STARLIGHT
  • Shenyang, Chine
  • En fonction de la quantité commandée par produit
  • 500t/an

Détails

Présentation du bateau à plaquettes en carbure de silicium lié par réaction :

Ces dernières années, les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque se sont développées rapidement, l'échelle de l'industrie a augmenté rapidement, les équipements de fabrication ont continué d'évoluer vers la précision et la complexité, et les exigences techniques et de localisation des composants clés des céramiques de haute précision ont augmenté. Il s'agit d'une nouvelle opportunité de développement et d'un tournant pour les entreprises de fabrication de carbure de silicium.

Les wafers en carbure de silicium sont devenus une solution de choix pour les processus industriels à haute température, notamment dans la fabrication de semi-conducteurs, la métallurgie et le frittage de céramiques avancées. Ces composants combinent les propriétés exceptionnelles du carbure de silicium avec une conception innovante, offrant des avantages distincts par rapport aux alternatives traditionnelles en céramique ou en graphite.

1. Stabilité thermique et mécanique exceptionnelle

Les nacelles de plaquettes SIC présentent une résistance exceptionnelle aux chocs thermiques, préservant l'intégrité structurelle même lorsqu'elles sont soumises à des fluctuations rapides de température jusqu'à 1 380 °C. Cette stabilité provient du faible coefficient de dilatation thermique du carbure de silicium (4,0 × 10⁻⁶/°C) associé au processus de liaison par réaction qui minimise les contraintes internes. Contrairement aux nacelles en graphite conventionnelles qui se dégradent au-dessus de 500 °C dans des environnements oxydants, les composants des nacelles de plaquettes SIC présentent une excellente résistance à l'oxydation, garantissant une longévité dans des cycles répétés à haute température.

2. Conception optimisée pour l'efficacité des processus

La configuration à trois montants améliore l'uniformité thermique dans les applications critiques telles que les processus de diffusion et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Les montants symétriques assurent une distribution uniforme de la chaleur, réduisant les gradients de température à moins de 5 °C sur toute la longueur de la nacelle. Cette conception minimise également le gauchissement des plaquettes pendant le traitement des semi-conducteurs, améliorant les taux de rendement jusqu'à 15 % par rapport aux nacelles à fond plat. La structure ouverte facilite une meilleure dynamique du flux de gaz, améliorant ainsi la cohérence du processus dans les fours à atmosphère contrôlée.

3. Inertie chimique supérieure

La nature non réactive des nacelles en carbure de silicium les rend idéales pour la manipulation de matériaux corrosifs. Avec une porosité inférieure à 0,5 % obtenue grâce au processus de liaison par réaction, ces nacelles présentent une résistance remarquable aux flux acides/alcalins et aux métaux fondus. Dans la fabrication de cellules solaires, cette propriété empêche la contamination métallique (par exemple, l'aluminium ou l'argent), maintenant la pureté des nacelles avec des niveaux d'impuretés inférieurs à 1 ppb.

Notre société peut actuellement produire des tubes de grand diamètre, des tubes à paroi mince, des hélices en porte-à-faux, des bateaux à plaquettes de carbure de silicium liées par réaction, etc.

Silicon Carbide Wafer Boat

Avantages des plaquettes de carbure de silicium liées par réaction :

1. Nos bateaux à plaquettes SIC résistent aux températures élevées, à l'usure et au fluage ;

2.Notre SICles bateaux à plaquettes ont une résistance élevée aux chocs et une longue durée de vie ;

3. Nos bateaux à plaquettes SIC ont une densité élevée et peuvent être personnalisés selon les besoins du client ;


Assurance qualité et contrôle qualité :

Afin de répondre à la demande des clients pour les produits de notre société, chaque processus de production est strictement contrôlé à partir du moment où les matières premières entrent dans l'usine. Tous les produits sont strictement inspectés avant de quitter l'usine. Sur la base de notre système de gestion, notre inspection et notre contrôle de la qualité des produits sont conformes aux normes de l'industrie et de l'entreprise.

Reaction bonded silicon carbide wafer boat

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