Shenyang Starlight Advanced Ceramics réalise une percée dans la fabrication de bateaux en quartz semi-conducteurs

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., fabricant leader de produits en carbure de silicium fort de plus de 30 ans d'expertise industrielle, a développé et livré avec succès une série de nacelles en quartz hautes performances pour le traitement des plaquettes de semi-conducteurs. Cette étape importante souligne la capacité de l'entreprise à répondre aux exigences strictes de la fabrication de semi-conducteurs de pointe.

Innovation dans la technologie des bateaux en quartz

Après des années de recherche et développement et de tests rigoureux, Shenyang Starlight a perfectionné sa série de nacelles en quartz, spécialement conçues pour le traitement thermique des plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs. Ses principales caractéristiques sont les suivantes :

Matériau en carbure de silicium de très haute pureté, garantissant une contamination minimale lors des processus à haute température.

Stabilité thermique exceptionnelle, capable de résister à des cycles thermiques rapides jusqu'à 1 200 °C.

Intégrité structurelle conçue avec précision, empêchant la déformation ou l'endommagement des plaquettes pendant le traitement.

Ces bateaux en quartz de carbure de silicium sont essentiels pour les processus de recuit, de diffusion et d'oxydation des plaquettes, où la pureté du matériau et les performances thermiques sont primordiales.

Répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs

Les fabricants de semi-conducteurs ont besoin de solutions de manipulation homogènes et sans contamination pour leurs plaquettes de silicium fragiles. Les nacelles en carbure de silicium et quartz de Shenyang Starlight répondent à ces besoins en offrant :

• Résistance chimique supérieure aux gaz corrosifs utilisés dans le dépôt et la gravure.

• Conception optimisée pour une distribution uniforme de la chaleur, réduisant ainsi le stress des plaquettes.

• Longue durée de vie, réduisant le coût total de possession des usines de semi-conducteurs.

« Notre série de bateaux en quartz et carbure de silicium représente des années de perfectionnement en science des matériaux », a déclaré un porte-parole de l'entreprise. « Nous avons combiné du quartz et du carbure de silicium de haute pureté avec une fabrication de précision pour fournir un produit qui répond aux normes rigoureuses de la production de semi-conducteurs. »

R&D et assurance qualité

Le succès de Shenyang Starlight provient de :

Équipe de R&D dédiée, collaborant avec des institutions académiques de premier plan.

Protocoles de test avancés, y compris la résistance aux chocs thermiques et l'analyse des émissions de particules.

Production certifiée ISO 9001, garantissant la cohérence d'un lot à l'autre.

Les bateaux en quartz de la société ont subi des tests de qualification approfondis en partenariat avec des fabricants d'équipements semi-conducteurs, confirmant la fiabilité des produits en carbure de silicium dans les applications réelles.

Applications dans la fabrication de plaquettes

La série de bateaux en quartz est désormais adoptée pour :

• Traitement frontal des plaquettes (par exemple, oxydation, dopage).

• Recuit back-end pour un packaging avancé.

• Fabrication de cellules photovoltaïques, où la stabilité à haute température est cruciale.

Développements futurs

Fort de ce succès, Shenyang Starlight élargit son portefeuille de céramiques semi-conductrices, avec des projets en cours dans les domaines suivants :

• Composants en quartz revêtus de carbure de silicium pour une durabilité accrue.

• Conceptions de bateaux personnalisées pour les tailles de plaquettes de nouvelle génération.

• Matériaux à faible émission de particules pour la compatibilité avec la lithographie EUV.

Engagement envers l'excellence des semi-conducteurs

La fabrication de semi-conducteurs évolue rapidement et nous nous engageons à fournir des solutions céramiques de pointe qui permettent le succès de nos clients, a ajouté le porte-parole.