Introduction de Porte-nacelle en carbure de silicium :

Les avantages des porte-bateaux en carbure de silicium dans la fabrication de semi-conducteurs

Dans les secteurs en évolution rapide des semi-conducteurs et du photovoltaïque, l'innovation des matériaux joue un rôle essentiel dans l'amélioration de l'efficacité des processus et des performances des produits. Parmi les composants critiques, les supports de nacelles en carbure de silicium, également appelés nacelles ou cassettes de plaquettes, sont apparus comme une alternative supérieure aux supports traditionnels en quartz ou en graphite. Avec des propriétés thermiques, mécaniques et chimiques exceptionnelles, les supports de nacelles en carbure de silicium offrent une fiabilité et une longévité inégalées dans les processus de fabrication de semi-conducteurs à haute température. Ci-dessous, nous explorons les principaux avantages des supports de nacelles en carbure de silicium et leur impact transformateur sur la fabrication moderne.

Caractéristiques principales du support de bateau à plaquettes en carbure de silicium :

1. Stabilité thermique et conductivité supérieures

La conductivité thermique ultra-élevée du carbure de silicium (120-270 W/m·K) et son faible coefficient de dilatation thermique garantissent une contrainte thermique minimale même en cas de fluctuations rapides de température. Contrairement aux supports en quartz, qui ont tendance à se déformer ou à se fissurer à des températures supérieures à 1 200 °C, les supports de bateau en SiC conservent leur intégrité structurelle à des températures supérieures à 1 600 °C. Cela les rend idéaux pour les processus critiques tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la croissance épitaxiale et la diffusion, où un contrôle précis de la température est essentiel. La résistance aux chocs thermiques du matériau réduit également les temps d'arrêt causés par la défaillance du support, augmentant ainsi le rendement de production.

2. Robustesse mécanique améliorée

La dureté inhérente du SiC (9,2-9,5 Mohs) et sa résistance à la flexion (350-600 MPa) dépassent de loin celles du quartz ou du graphite. Cette durabilité mécanique se traduit par une réduction de la génération de particules et de la casse lors de la manipulation des plaquettes, minimisant ainsi les risques de contamination. Les fabricants de semi-conducteurs bénéficient d'une durée de vie prolongée des supports, jusqu'à 10 fois supérieure à celle des alternatives au quartz, ce qui se traduit par des coûts de remplacement inférieurs et un meilleur retour sur investissement (ROI).

Les accessoires de bateau à plaquettes en carbure de silicium ont une structure stable, une bonne stabilité thermique des matériaux et ne se déforment pas lorsqu'ils sont utilisés à haute température. Les pièces de bateau à plaquettes en carbure de silicium ont une longue durée de vie. Le support de bateau à plaquettes en carbure de silicium résout efficacement le problème des cellules photovoltaïques à haute capacité. Le problème de la perte de composants porteurs sous capacité de charge.

Champ d'application du support de bateau à plaquettes en carbure de silicium :

Les accessoires pour bateaux à plaquettes en carbure de silicium conviennent aux principaux composants porteurs des équipements de processus de diffusion de cellules de qualité photovoltaïque.

À propos de nous:

Située dans la base industrielle et de fabrication d'équipements de pointe de la Chine, Shenyang, province du Liaoning, Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., est une entreprise de conception, d'innovation en R&D, de qualité stable et de grande capacité de fabrication de matières premières et de produits SiC de premier plan au monde. Ses produits sont exportés vers plus de 20 pays et régions d'outre-mer. Au fil des ans, l'entreprise a adhéré à l'intégrité de sa philosophie d'entreprise pour fournir aux clients le meilleur service de qualité.