La cérémonie de construction de l'usine de composants de base de semi-conducteurs à base de carbure de silicium a commencé

Lumière des étoiles de ShenyangAvancéCeramics se lance dans l'expansion de son écosystème de semi-conducteurs avec de nouvelles installations de production

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., fabricant chinois pionnier de supports de fours en carbure de silicium avancé, fondé en 1995 grâce à une joint-venture sino-allemande historique avec Fine Technical Ceramics GmbH, a annoncé aujourd'hui une avancée stratégique dans l'intégration de sa chaîne d'approvisionnement en semi-conducteurs. L'entreprise a lancé la construction de son usine de production de composants de base pour semi-conducteurs et de son atelier de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) le 10 juin 2025, marquant ainsi une étape décisive dans son parcours de trois décennies d'innovation technologique.

Aperçu de l'expansion stratégique

Ce projet d’investissement de 350 millions de dollars renforce l’engagement de Shenyang Starlight en faveur de l’intégration verticale dans la fabrication de semi-conducteurs :

  1. Installation de composants de base : dédiée à la production en série de pièces en carbure de silicium de très haute pureté pour la manipulation de plaquettes, la gestion thermique et les chambres de traitement.

  2. Atelier CVD : Spécialisé dans les revêtements avancés en carbure de silicium pour les équipements semi-conducteurs, y compris les couches résistantes au plasma et anticorrosion.

  3. Centre de R&D intégré : Abritant des laboratoires d'analyse de matériaux de pointe et des systèmes de simulation de procédés.

Capacités techniques

Les nouvelles installations s'appuieront sur les atouts hérités de Shenyang Starlight :

  1. Expertise des matériaux : 30 ans d'expérience dans la production de RSiC (carbure de silicium recristallisé) et de NSiC (carbure de silicium lié au nitrure)

  2. Patrimoine de qualité : premier fabricant chinois de fours à carbure de silicium certifié ISO 9001 (2002)

  3. Ingénierie de précision : précision d'usinage inférieure à 0,01 mm prouvée dans les composants de qualité semi-conducteur

  4. Reconnaissance mondiale : 35 % de parts d'exportation dans plus de 20 pays (selon les données douanières de 2024)

Spécifications de l'installation

  1. Usine de composants semi-conducteurs

  2. Normes des salles blanches : environnements de classe ISO 5-7

  3. Capacité de production : plus de 50 000 pièces de précision par an

Produits clés :

  1. Porte-plaquettes de 12 pouces (450 mm de diamètre extérieur)

  2. Tubes de procédé CVD/CVI

  3. Composants d'anneau de bord pour systèmes de gravure

Atelier de revêtement CVD

Technologies de dépôt : capacités PECVD, LPCVD et ALD

  1. Performances du revêtement :

  2. rugosité de surface ≤ 0,05 μm

  3. Revêtements d'une pureté de 99,999 %

  4. Durabilité de plus de 10 000 cycles

Impact sur l'industrie

Cette extension répond aux besoins critiques de la chaîne d’approvisionnement :

  1. Localisation : Réduire de 40 % la dépendance aux composants semi-conducteurs importés

  2. Avancées techniques : Développement de revêtements exclusifs en carbure de silicium à haute entropie

  3. Durabilité : mise en œuvre de systèmes de recyclage des matériaux en boucle fermée

Collaboration en R&D

Le projet s'appuie sur des partenariats existants avec :

  1. Université Tsinghua : Développement conjoint de systèmes d'optimisation de processus pilotés par l'IA

  2. Université du Nord-Est : Modélisation avancée des contraintes thermiques pour les composants grand format

  3. Instituts CAS : Composites à matrice céramique de nouvelle génération

Chronologie du projet

  1. Juin 2025 : Achèvement des fondations

  2. T4 2025 : Installation des équipements

  3. T2 2026 : Production pilote

  4. 2027 : Exploitation à pleine capacité

Perspective de leadership

"Cette expansion représente notre évolution de spécialiste des fours à architecte de solutions de semi-conducteurs," a déclaré M. Liu Changchun, président. "En intégrant les capacités CVD à la fabrication de précision, nous sommes en mesure de fournir des solutions de sous-systèmes complètes pour les usines de nœuds 3 nm."

Positionnement sur le marché

L'initiative s'aligne sur les objectifs d'autosuffisance de la Chine en matière de semi-conducteurs, ciblant :

  1. 25 % de parts de marché dans les composants nationaux en carbure de silicium d'ici 2028

  2. Réduction de 50 % des délais de livraison pour les revêtements avancés en carbure de silicium

  3. 30 % d'avantage de coût par rapport aux alternatives importées

Engagements en matière de développement durable

  1. Efficacité énergétique : réduction de 40 % de la consommation d'énergie grâce à la récupération de la chaleur perdue

  2. Contrôle des émissions : filtration des particules à 99,9 % dans les procédés CVD

  3. Utilisation des matériaux : taux de rendement supérieur à 95 % grâce à l'usinage optimisé par l'IA

silicon carbide

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